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早在20世纪90年代，部分晶圆厂就完了了“黑灯工场”，让半导体制变成为制造业王冠上的明珠。其中，最遑急的一环所以天车（OHT）为中枢，包括存储、净化、传感限度、集群调治限度等软硬件为一体的自动物料搬运系统（AMHS），其犹如东谈主体血管般，调处于半导体制造的每一个要领。但遥远以来，在AMHS领域，日本的村田和大福足下了全国跨越90%的商场份额。
为了探寻中国AMHS的发展之路，近日，上证报记者来到上海临港，走进国内率先的AMHS公司弥费科技（上海）股份有限公司（简称“弥费科技”），对话公司独创东谈主、董事长缪峰。
弥费科技的展厅内，长达2公里的高下升沉、周折盘绕的轨谈诱惑了记者的夺目。轨谈上，几十辆小车犹如一个个小胖墩，丝滑快速地前行、转向、移动轨谈，并完成晶圆盒的取放动作。更为令东谈主惊叹的是，整套系统吊挂在天花板上。
“这个小车即是天车。天车系统不是半导体制造的中枢斥地，却是先进晶圆厂的要津斥地。”缪峰开门见平地先容，跟着半导体晶圆厂、先进封装厂自动化进度的进步，AMHS正变得越来越遑急，OHT恰是其中中枢斥地；而另外一方面，早在2023年，日本就将部分天车零部件列入了出口经管范围。不错说，国内发展AMHS，仍是到了刻辞谢缓的地步。
“天帆”扬起后发上风突显
“咱们刚刚发布的新一代天车系统居品天帆系列，具有更高的精度和褂讪性，居品质能主义全靠近皆头部供应商，部分要津主义已完了对国际同类居品的卓绝。”缪峰暗示。
4月2日，弥费科技精良发布了自研的新一代AMHS天车系统处理决议——天帆SKYSAIL系列，通过架构、平台、车体、软件四大维度的改变谈判，完了了速率、褂讪性、车体轻薄、智能化等十大维度上的居品力进步，轮廓性能有望成为行业新标杆。
“天帆天车的直行速率是每秒5.5米，居于全行业第一；车体厚度仅有895mm，比上一代居品薄120mm，也比市面上最先进的竞品薄90mm。”缪峰先容，天帆的发布，意味着在晶圆厂中枢系统装备领域，国内斥地又补皆了一块短板。手脚现时国内独一通过8英寸及12英寸晶圆厂整厂考证的AMHS全决议供应商，弥费科技仍是具备了显赫的后发上风。
弥费科技诞生于2014年，2018年精良开启AMHS业务。至2024年底，公司一语气开发了传送、存储、净化、传感限度、大畛域集群调治软件等数十款软硬件居品，投入了全国近50家晶圆厂。公司也成为第一家奏效验收12英寸国内晶圆厂整厂AMHS系统的原土供应商。
弥费科技为何大要作念到青出于蓝？
“站在前辈的肩膀上，网上开户选拔最新的理念、技艺。”缪峰暗示，无论在居品谈判照旧在算法方面，老牌的天车厂商都是基于限定出手来谈判居品；但投入AI期间，在大模子出手下，访佛整厂部署的畛域效应，弥费科技不再需要除名限定路子，而是通过仿真建模等技艺，快速界说居品。此外，弥费科技自研了限度器等中枢零部件，并构建了齐备、高效的国内供应链；同期，团队深度领悟客户需求，作念到了居品的快速迭代。
记者在公司一楼大厅看到，密密匝匝的学问产权文凭铺满了整面墙。
缪峰先容，公司苦求及已授权学问产权270余项，其中已授权发明专利53项。公司还主导制定了中国首个半导体天车系统圭臬《集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技艺条目》（T/SICA 006—2024）。在国外，弥费科技已苦求种种学问产权60余项，居品通过20余项国际圭臬认证。
海表里商场并重助力晶圆“智”造
手脚半导体细分赛谈的杰出人物，弥费科技已完成三轮融资，统统融资金额跨越5亿元。成本助力下，公司的发展也如虎添翼。
2024年，弥费科技奏效完成了国内首家12英寸晶圆厂AMHS整厂委派及使用验收，填补了国内半导体领域12英寸整厂级AMHS原土决议的空缺。“当今，在国内半导体AMHS商场，弥费科技所占份额跨越七成，而公司地点是投入行业的全国前三位。”缪峰暗示。
如斯细分的斥地商场，能否撑起公司的大将来？
缪峰先容，跟着半导体制造工艺升级、12英寸晶圆产能进步以及工场自动化需求增多，AMHS商场呈现出更快的增长趋势。全国来看，2022年全国半导体AMHS商场畛域约为32亿好意思元，瞻望到2025年将增长至37亿好意思元；中国商场方面，2022年中国半导体AMHS商场畛域约为7亿好意思元，瞻望2025年将达到11亿好意思元。
比年来，鉴于对传送弯曲率、粉尘限度的更高需求，第三代半导体如氮化镓（GaN）衬底厂、外延片厂对AMHS的需求更生。而跟着先进封装的发展，先进封装厂大幅进步自动化水平，对AMHS的需求正在快速增长中。
“公司已形成粉饰传送、存储、净化斥地及智能调治软件的齐备自主技艺体系，已一语气多年稳居国内半导体AHMS商场第一。”缪峰泄漏，凭借“硬件+软件+作事”的一体化委派能力，弥费科技的AMHS系统在价钱、安全、作事、满足新需求及后期运维商场等多个方面，都具有显赫的上风；访佛净化斥地等的配套作事能力，弥费科技在国表里都迎来较好的成长机遇，瞻望本年、来岁都有较快速的增长。